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复合激光清洗系统的运行主要涉及以下过程：
1**激光产生**：
-**不同激光源准备**：复合激光清洗系统通常包含至少两种不同类型的激光器，比如常见的有脉冲激光器和连续激光器，或者红外激光器和紫外激光器等。这些激光器分别产生特定波长、能量和脉冲特性的激光束。每种激光器都有其独特的势，脉冲激光器能产生高能量的短脉冲激光，适合去除顽固的污染物；连续激光器则可以提供稳定的激光输出，用于预热或辅助清洗。
-**激光发**：激光器根据设定的参数发出相应的激光束，这些激光束会通过各自的光路传输系统向清洗头方向传输。
2**光路传输与整形**：
-**光路传输**：从不同激光器发出的激光需要在清洗头内部进行光路的整合。这通常通过一系列的反镜、折镜或光纤等光学元件来现，确保不同的激光能够准确地传输到后续的光学组件中。
-**激光整形**：到达清洗头的激光束会经过整形组件，整形的目的是使激光束的能量分布更加均匀、光斑形状和尺寸符合清洗要求。例如，通过扩束镜可以改变激光束的直径和发散角，准直镜可以使激光束变得更加平行，偏振分光片可以调整激光的偏振态等。
3**激光合光**：
-**光路调整**：经过整形后的不同激光束需要进行合光操作，以便将它们组合成一束复合激光。这通常通过合光镜来现，合光镜能够调整不同激光的出光路，使它们在空间上能够重合。
-**能量叠加**：不同激光的能量在合光过程中会进行叠加，形成具有特定能量分布和波长组合的复合激光束。这种能量叠加不仅增加了激光的总能量，还可以利用不同激光的特性相互补充，提高清洗效果。
4**聚焦与清洗**：
-**聚焦激光**：复合激光束经过合光后，会通过聚焦镜将其聚焦到待清洗物体的表面。聚焦镜的作用是将激光束的能量集中在一个较小的区域上，以提高激光的能量密度，从而现对污染物的有效去除。
-**清洗过程**：当复合激光聚焦到物体表面时，激光的能量会被物体表面的污染物以及基材吸收。根据激光的能量参数和污染物的特性，激光会使污染物发生物理变化，如汽化、蒸发、分解等，或者使污染物与基材之间的结合力降低，从而使污染物能够从基材表面脱离。同时，由于复合激光的作用，清洗过程可能会产生一些物理效应，如冲击波、热膨胀等，这些效应也有助于污染物的去除。
5**移动与扫描**：
-**系统移动**：为了现对物体表面的全面清洗，复合激光清洗系统通常会配备移动机构，如机械手臂、导轨等。这些移动机构可以带动清洗头在维空间内进行移动，使激光能够照到物体的不同部位。
-**激光扫描**：在一些高级的复合激光清洗系统中，清洗头内部还可能配备扫描装置，如振镜等。振镜可以速地改变激光的出方向，现对物体表面的扫描清洗，提高清洗效率和精度。
6**监控与反馈**：
-**过程监控**：在清洗过程中，系统会通过各种传感器对清洗过程进行时监控，如激光能量监测传感器可以检测激光的输出能量是否稳定；温度传感器可以监测物体表面的温度变化，防止因激光能量过高而导致基材受损等。
-**反馈调节**：根据监控得到的数据，系统会自动对激光的参数、清洗头的位置和移动速度等进行反馈调节，以确保清洗过程的稳定性和清洗效果的一致性。例如，如果检测到某个区域的污染物去除不彻底，系统会自动增加激光的能量或延长清洗时间；如果发现基材表面温度过高，系统会降低激光的能量或加清洗头的移动速度。
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